半導體檢測量測設備行業(yè)研究：芯片良率守護者，短板突破正當時.pdf

半導體檢測量測設備行業(yè)研究：芯片良率守護者，短板突破正當時。檢測量測設備為半導體質量控制的重要組成部分。芯片制造過程中會 產生各種缺陷，質量控制設備把關整體良率，其貫穿于芯片制造全程， 包括測試和過程工藝控制兩大類型，后者根據(jù)功能可具體分為檢測 （Inspection）和量測設備（Metrology）。

檢測量測設備種類豐富，光學檢測為主流技術路徑。檢測量測可以細 分為晶圓檢測、掩膜版檢測、關鍵尺寸量測、膜厚量測、晶圓形貌量 測等多種細分設備，技術路線可分為光學、電子束檢測和 X 光檢測三 類，所涉設備市場空間占比分別為 75.2%、18.7%、2.2%，光學檢測 均衡速度與精度，是過程工藝控制的主要技術路徑。

中國大陸為半導體檢測、量測設備的第一大市場。2020 年全球過程工 藝控制設備占半導體設備開支的比例為 11.8%，其中檢測、量測設備 市場空間分別為 47.9、25.6 億美元。分地區(qū)看，檢測量測設備前三大 市場為中國大陸、中國臺灣、韓國，占比分別為 27%、25%、18%。

本土企業(yè)率先布局寬應用、低壁壘賽道，國產替代加速進行。檢測量 測設備競爭梯隊分明，科磊半導體占據(jù)全球市場的半壁江山，全球 CR8 市占率達 92%。國產企業(yè)率先切入晶圓缺陷檢測、關鍵尺寸量測等應 用較寬、市場空間相對較大、難度壁壘相對較低領域，產品獲得市場 認可，市占率穩(wěn)步提升，2018-2021 年，中科飛測在國內檢測量測設 備的市占率由 0.4%提升至 1.7%。

拓展廣度，本土企業(yè)通過自主研發(fā)和并購海外子公司拓展產品線。以 中科飛測為代表的企業(yè)通過自主研發(fā)向半導體檢測量測領域發(fā)力；而 以長川科技、賽騰股份、天準科技為代表的公司通過收購海外公司構 建產業(yè)生態(tài)。本土企業(yè)產品覆蓋率快速提升。

開掘深度，細分領域進軍先進制程。本土企業(yè)先進制程產品研發(fā)持續(xù) 取得突破：上海睿勵 5nm 薄膜膜厚測量、中科飛測 2Xnm 以下套刻精 度量測均處于驗證階段。