半導體行業研究：設備國產化關鍵環節，半導體零部件藍海啟航.pdf

半導體行業研究：設備國產化關鍵環節，半導體零部件藍海啟航。零部件是半導體設備核心，市場規模超 400 億美元：半導體設備結 構復雜，由成千上萬個零部件組成，零部件的性能、質量和精度都共 同決定著設備的可靠性與穩定性，零部件是半導體設備是延續半導體 行業“摩爾定律”的瓶頸和關鍵。一般來說，零部件采購額占據半導 體設備生產成本的 80%左右，按此推算，預計 2021 年全球半導體零 部件市場規模 439 億美元。

零部件品類眾多，單一產品市場集中度高：半導體零部件數量龐 大、種類繁多，碎片化特征明顯。按照業內主流的零部件劃分方式， 半導體零部件可以劃分為機械類、電器類、機電一體類、氣體/液體/ 真空系統類、儀器儀表類、光學類和其他零部件。總體來看，全球前 十大半導體零部件供應商的市場份額總和趨于穩定在 50%左右，由于 半導體零部件對精度和品質的嚴格要求，就單一半導體零部件而言， 往往會出現僅有幾家供應商的局面，集中度遠高于 50%。

技術壁壘高，國產化率低：半導體零部件技術壁壘高，其研發設 計、制造和應用涉及到材料、機械、物理、電子、精密儀器等跨學 科、多學科的交叉融合。 總體來看，目前大部分零部件均被海外巨頭 壟斷，例如在靜電吸盤領域，基本由美國和日本半導體企業主導，市 場份額占 95%以上。根據芯謀研究數據，石英、反應腔噴淋頭、邊緣 環等自給率大于 10%，各種泵、陶瓷部件國內自給率在 5%-10%之 間，射頻發生器、機械手、MFC 等自給率在 1%-5%之間，閥門、測 量儀器等自給率甚至不到 1%，半導體零部件整體國產化率處于較低 水平。

部分品類率先突破，國產化快速推進：國內廠商在某些細分品類零 部件率先突破，例如機械類零部件，國內如新萊應材、江豐電子、富 創精密等均有相應產品布局，并在國內龍頭半導體設備公司份額快速 提高。在閥門領域，國內企業新萊應材也具備了國產替代能力。在射 頻電源領域，英杰電氣率先實現突破，正在從 MOVCD 設備往更多半 導體設備拓展。在真空泵上，漢鐘精機在光伏領域已經占據主要份 額，半導體客戶也開始出貨，正處于快速成長階段。