半導體零部件行業間研究：行業高景氣，國產替代空間廣闊.pdf

半導體零部件行業間研究：行業高景氣，國產替代空間廣闊。半導體精密零部件是半導體設備行業的基石。半導體零部件是指在材料、結構、工 藝、品質和精度、可靠性及穩定性等方面達到半導體設備及技術要求的零部件。上 游原材料包括鋁合金材料和部分非金屬原材料，下游應用則涵蓋了光刻、刻蝕、清 洗、薄膜沉積等半導體設備。由于應用于高可靠性要求的半導體設備中，零部件需 要兼顧精度、強度、潔凈度、抗腐蝕、電子特性、電磁特性、材料純度等復合功能 要求，生產工藝涉及精密機械制造、工程材料、表面處理特種工藝、電子電機整合 及工程設計等多個領域和學科，是半導體設備核心技術的直接保障。

半導體設備先進零部件交期延長兩倍以上。根據韓國 etnews，半導體設備需求激 增與上游零部件擴產不足形成矛盾。半導體設備先進部件的交貨期延長了兩倍以 上，先進零部件交期延長尤為嚴重。此外海外龍頭設備廠商也在法說會提到零部件 供應緊張帶來的設備交付周期拉長。我們認為主要原因是零部件廠商通常重資產， 擴產速度相對半導體設備廠商較慢。

2022 年全球半導體零部件市場規模或超 500 億美金。根據富創精密招股書及國內 外半導體設備廠商公開披露信息，設備成本構成中通常原材料（不同類型的精密零 部件產品）占比 90%以上為原材料，考慮國際半導體設備公司毛利率通常在 40%- 45%左右，則全部精密零部件市場約為全球半導體設備市場規模的 50%-55%。根 據 SEMI，2021 年全球半導體設備市場規模達到 1025 億美金，預計 2022 年進一步 提升 14.7%至 1175 億美金。若按零部件占設備市場規模的 50%測算，則 2022 年 全球半導體零部件市場規模或超過 500 億美金。

海外廠商主導，總體分散局部集中。半導體零部件制造工序繁瑣，技術難度大，行 業內多數企業通常專注于細分零部件系統。2000-2010 年伴隨收購并購，行業持續 整合，全球關鍵子系統前十大廠商的合計份額逐步提升，2010 年至今全球前十大 關鍵子系統供應商的份額始終維持在 50%左右的水平。2020 年蔡司憑借其在光學 系統的領先地位持續占據全球零部件供應商首位；受益于對射頻電源子系統的強勁 需求，MKS 超過 Edwards 躍居第二。Edwards，Pfeiffer，VAT Valve 三家歐洲公司 占真空子系統全球份額的 55%。

中國大陸半導體零部件市場空間廣闊。根據 SEMI，2019-2021 年中國大陸半導體 設備銷售額占全球的平均比重為 25.9%，若以此作為大陸零部件市場占全球的比重 進行測算，則 2022 年中國大陸零部件市場規模為 152 億美金。根據芯謀研究， 2020 年中國大陸晶圓廠 8 英寸和 12 英寸前道設備零部件采購金額超過 10 億美 金。其中中國內資晶圓廠采購金額約 4.3 億美金。中國晶圓廠采購的設備零部件主 要包括石英、射頻發生器、各種泵等，分別占零部件采購金額的比重≥10%。此外 各種閥門、吸盤、反應腔噴淋頭、邊緣環等零部件采購占比也較高。我們認為國內 設備廠商正處于持續研發突破，產品初步起量階段，隨著國產設備廠商的放量，未 來國內零部件需求預計將快速增長，機遇廣闊。