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中科飛測研究報告：產品線持續豐富完善，引領半導體量檢測設備進口替代。公司是本土量/檢測設備龍頭，成功供貨中芯國際、長江存儲、福建晉華 等主流半導體客戶，引領進口替代同時，收入規模實現快速增長。1）收入端： 2018 年營收僅為 2985 萬元，2022 年達 5.09 億元，期間 CAGR 高達 103%， 2023Q1 實現營收 1.62 億元，同比+255%，加速增長。2）利潤端：與收入端高 速增長形成對比的是，公司利潤端波動較大。2022 年實現歸母凈利潤 0.12 億 元，同比-78%；2023Q1 歸母凈利潤達 0.31 億元，同比+259%。2022 年公司扣 非凈利率為-17.25%，同比-18.22pct，真實盈利大幅下降，主要系高強度研發投 入所致，2022 年研發費用率達到 40.40%，同比+14.04pct；2023Q1 公司扣非凈 利率為-0.49%，受益于規模效應，真實盈利有所回升。我們注意到公司整體毛 利率呈上升趨勢，2021-2023Q1 分別達到 48.96%、48.67%和 55.26%，優于行 業平均水平，表現出色。截至 2023Q1 末，公司存貨和合同負債分別達 9.19 億 元和 5.45 億元，充足訂單有望支持公司業績持續快速增長。

前道設備彈性最大環節之一，迎國產替代最佳機遇

量/檢測設備產品技術壁壘高、種類多，在半導體設備中價值量占比僅次 于薄膜沉積、光刻和刻蝕，達到 11%。我們預計 2023 年中國大陸量/檢測設備 市場規模將達到 222 億元，市場需求廣闊。①全球范圍內來看，KLA 在半導 體量/檢測設備領域一家獨大，2020 年市場份額高達 51%。此外，在半導體前 道設備中，量/檢測設備盈利水平尤為出色，2022 財年 KLA 凈利率高達 36%， 明顯優于 AMAT、LAM 等半導體設備龍頭。②中科飛測、上海精測、睿勵科 學等本土廠商雖已經實現一定突破，但量/檢測設備仍是前道國產化率最低的 環節之一，上述三家企業 2022 年營收合計 7.46 億元，對應市場份額不足 3%， 遠低于去膠機、刻蝕設備、薄膜沉積設備等環節。展望未來，在美國制裁升級 背景下， KLA 在中國大陸業務將受到一定沖擊，本土晶圓廠加速國產設備導 入，量/檢測設備有望迎來國產替代最佳窗口期。

國產替代加速&產品線持續完善，公司具備持續快速擴張潛力

公司在穩固現有產品競爭優勢同時，積極布局先進制程設備，并不斷拓展 量/檢測設備品類，成長空間持續打開。1）公司主營四大類系列設備相關技術 指標可對標海外一線龍頭，當前市占率仍較低，有較大提升空間。此外，公司 積極拓展先進制程，14-10nm 無圖形晶圓缺陷檢測設備研發項目正在快速推 進，28nm 以下的套刻精度測量設備已經發往客戶驗證，并獲得 2 家客戶訂單。 2）公司積極布局納米圖形晶圓缺陷檢測設備、關鍵尺寸量測設備、晶圓金屬 薄膜量測設備等新產品線，覆蓋面進一步拓寬。此外，公司 IPO 募投可新增檢 測設備產能 150 臺、量測設備產能 80 臺，對應銷售收入約 6.42 億元，大幅提 升公司產能水平，支撐收入規模持續擴張。