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中科儀新股報告：聚焦真空核心設備，自主創新驅動長期發展。真空裝備領域國內龍頭企業。中科儀成立于 2001 年，公司是中國領先的半 導體制造設備核心部件提供商及真空科學儀器設備供應商，主營業務為干式真 空泵和真空科學儀器設備的研發、生產、銷售，及相關技術服務。公司依托中 科院技術底蘊，承接多項國家級科研專項，成功實現國產干式真空泵在集成電 路領域的規模化應用，破解半導體關鍵部件“卡脖子”難題。公司服務國家大 科學工程，是同步輻射光源、粒子對撞機等重大科技基礎設施的核心真空部件 供應商，技術水平對標國際頭部企業。國科控股為實控人，國家集成電路基金 戰略持股，股權結構穩定。下設三家全資子公司，聚焦干式真空泵的研發、生 產與全周期技術服務，形成完整產業布局。

營收利潤穩步增長，研發投入比重增大。2025 年公司實現營業收入 12.91 億 元（+19.30%），實現歸母凈利潤 8.44 億元（+337.77%），盈利能力總體穩 定。2025 年公司毛利率為 26.78%，凈利率為 65.35%，費用管控成效顯著。 公司持續加大研發投入，2024-2025 年研發費用維持在 1.1 億元以上，組建多 學科復合型研發團隊，搭建真空技術裝備國家工程研究中心、國家真空儀器裝 置工程技術研究中心等多個國家級創新平臺，掌握干泵測 試、精密加工等八大 核心技術，推動半導體真空裝備關鍵技術成果快速落地并實現國產替代突破。

半導體產業蓬勃發展，真空核心設備需求釋放。全球干式真空泵市場穩步增 長，國內受益于半導體、光伏等泛半導體產業擴張，國產替代進程加速推動行 業規模擴容。我國集成電路產能擴張、光伏技術升級及國家重大科技基建建設， 帶動對真空裝備的高品質、多樣化需求提升。公司是國內唯一實現集成電路全 工藝、先進制程干式真空泵批量應用的龍頭，憑借技術、產能與本土服務優勢， 覆蓋主流晶圓廠及頂尖科研院所，合作關系穩定。在國際巨頭主導的格局下， 公司依托國產替代紅利持續提升份額，行業成長動力充足。

募投項目主要圍繞主營業務進行的產能擴張項目。 公司擬使用募集資金 82548.33 萬元，主要用于干式真空泵產業化建設、高端半導體設備擴產及研 發中心建設、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發。項目緊扣主營業務， 將進一步擴大核心產品產能、豐富產品結構，提升研發創新能力，優化產能區 域布局，降低物流成本，鞏固市場領先地位，具備充分的必要性與可行性。