量測設備行業研究報告：細致檢測攻堅克難，精準度量引領進步.pdf

上傳者：老*
時間：2022/12/05
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量測設備行業研究報告：細致檢測攻堅克難，精準度量引領進步。集成電路生產工藝演進，量測設備重要性提升：量測設備能在生產中監測、識別、定位、分析工藝缺陷，對晶圓廠及時發現問題、改善工藝、提高良率，起到至關重要的作用。量測設備分為尺寸測量和缺陷檢測兩大類。集成電路工藝升級推動芯片生產的總步驟數不斷上升。如今芯片生產涉及超 1000 道工序，即使每道工序良率達到 99.9%，芯片的最終良品率也只有 36.8%，這對單個工序的良率提出了更高的要求。隨著集成電路繼續多層化、復雜化，量測設備的重要性日趨凸顯。

量測市場廣闊細分賽道多，海外巨頭一家獨大：量測設備開支占半導體前道設備整體開支的 13%，2021 年全球市場規模約為 104 億美元，先進制程有望推動市場實現長遠增長。量測設備種類多，存在膜厚、套刻誤差、關鍵尺寸、有圖形缺陷檢測、無圖形缺陷檢測、電子束等多個細分類賽道。美國科磊（KLA）為量測領域行業龍頭，產品覆蓋廣泛，市場占比 52%,超過第二名應用材料 4 倍以上。

量測設備自給率低，國產化需求量大時間緊迫：量測設備涉及高端光學和電子學技術，國內積累相對薄弱；單個細分類設備市場小，重視程度不足，國內企業之前長期單打獨斗。依據最新預估，中國大陸量測設備市場規模 31.1 億美元，國產化率只有 2%。海外不斷施加限制措施，量測設備已成為光刻機之外威脅較大的短板。面對威脅，國內晶圓廠積極引入國產量測設備進行工藝驗證，有望推動國內量測產業快速發展。

國內量測企業迎難而上，全面布局成長可期：精測電子、睿勵科學儀器、中科飛測、東方晶源等企業，憑借多年的研發經驗和技術積累，逐步破繭而出。國內量測企業多維布局，已實現對多種細分類設備的廣泛覆蓋，并在光學系統和檢測算法方面取得突破，多種設備達到 28 納米工藝節點，多個 14 納米級產品進入工藝驗證階段；展望未來，國內企業有望縮小與海外企業的差距并取得出色業績。